| 名稱 | 內容 | |
| 測量范圍 | Z軸（垂直） | 160μm |
| X軸（水平） | 17.5mm | |
| 分辨率 | Z軸 | 0．01μm/±20μm |
| 0．02μm/±40μm | ||
| 0．04μm/±80μm | ||
| 測量項目 | 參數 | Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax |
| Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) | ||
| Rs Rsk Rku Rsm Rmr | ||
| 標準 | ISO,ANSI,DIN,JIS | |
| 圖形 | 支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓 | |
| 濾波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | |
| 取樣長度(lr) | 0.25,0.8,2.5mm | |
| 評定長度（ln） | Ln= lr×n n=1~5 | |
| 傳感器 | 測量原理 | 位移式差動電感 |
| 觸針 | 天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑 | |
| 測力 | <4mN | |
| 導頭 | 硬質合金，滑行方向半徑40mm | |
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | |
| lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | ||
| lr=2. 5, Vt=1mm/s | ||
| 返回 Vt=1mm/s | ||
| 示值誤差 | 不大于±10% | |
| 示值變動性 | 不大于6% | |
| 電源 | 內置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電 | |
| 外形尺寸 | 158×63.5x46mm | |
| 重量 | 約300g | |
| 工作環境 | 溫度：- 20℃ ~ 40℃ | |
| 濕度：< 90% RH | ||
| 儲存運輸環境 | 溫度：- 40℃ ~ 60℃ | |
| 濕度：< 90% RH | ||
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